AE 3156360-141 射頻發(fā)生器AE 3156360-141 是 Advanced Energy 公司生產(chǎn)的 HF Paramount 6013 型射頻電源輸出功率 6kW頻率 13.56MHz主要用于半導(dǎo)體制造等工藝中的等離子體生成。一、產(chǎn)品特點(diǎn)5條專為等離子體工藝設(shè)計(jì)的射頻電源輸出穩(wěn)定。輸出功率 6kW適用于中高功率工藝應(yīng)用。Advanced Energy 原廠制造品牌可靠。型號 HF Paramount 6013。已通過 CE 認(rèn)證符合安全標(biāo)準(zhǔn)。二、產(chǎn)品參數(shù)5條制造商Advanced Energy零件號 3156360-141。型號HF Paramount 6013。輸出6kW13.56MHz。輸入電源三相200-208VAC50/60Hz。市場狀態(tài)多為未測試的二手或庫存品流通。三、應(yīng)用領(lǐng)域5條半導(dǎo)體刻蝕工藝?；瘜W(xué)氣相沉積CVD。物理氣相沉積PVD濺射。等離子體清洗和表面處理?？蒲屑皩?shí)驗(yàn)室等離子體應(yīng)用。總結(jié)AE 3156360-141 是一款 6kW 工業(yè)級射頻發(fā)生器主要用于半導(dǎo)體等離子體工藝